طراحی ساختاری و آماده سازی قطعات دستگاه لایه نشانی lpcvd جهت لایه نشانی پلی سیلیکون

پایان نامه
چکیده

در این پروژه طراحی نیمه صنعتی و شبیه سازی یک دستگاه لایه نشانی بخار شیمیائی در خلأ (lpcvd) به منظور لایه نشانی پلی سیلیکون انجام شده است. در این راستا اتصال فلنج استیل به لوله کوارتز طراحی شده و برای ساخت آماده شده است. اتصالات کپسول سایلین که از لحاظ امنیتی از اهمیت بسیاری برخوردار است، شناسائی و طراحی شده است (به علت عدم امکان ساخت این اتصالات در وضعیت کنونی خریداری آنها پیشنهاد شده است)؛ کنترلر شار گاز (mass flow controller) بررسی گردیده و طراحی آن انجام شده است (به علت سطح و پیچیدگی کار، ساخت این قطعه توسط گروهی از دانشجویان دنبال می گردد). با بدست آوردن ابعاد کوره، بررسی جهت تهیه و یا طراحی سیستم گرم کننده و کنترل دمائی انجام شده است. دستگاه lpcvd مورد نظر برای لایه نشانی روی ویفر 2 اینچ و برای تعداد حداکثر 10 ویفر در نظر گرفته شده و شبیه سازی جهت بدست آوردن نحوه بهینه ی تزریق گاز و پمپ خلأ مناسب انجام شده است تا بتوان لایه هایی یکنواخت را بر روی ویفرها به وجود آورد. در این راستا فاصله ی بین ویفرها و فاصله ی آنها از کناره ها و از انتها و ابتدای لوله ی کوارتز بدست آمده است. همچنین شبیه سازی با تغییر محل ورود گاز و تغییر اندازه لوله کوارتز تکرار شده است تا ساختار مناسب برای محفظه بدست آید. شرایط و نحوه و یا بقولی الگوریتم لایه نشانی ارائه شده است و نحوه ی تله انداختن سایلین اضافی بررسی و وسائل جانبی آن بدین منظور طراحی شده اند. تمامی اجزا یک به یک تهیه یا طراحی شده و آماده ی ساخت دستگاه نهائی می باشند و صرفا کنترلر شار گاز باقی مانده است که توسط گروه دیگری از دانشجویان در حال پیگیری می باشد.

۱۵ صفحه ی اول

برای دانلود 15 صفحه اول باید عضویت طلایی داشته باشید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

مقایسه روش‌های فیزیکی لایه نشانی کندوپاش و لایه نشانی یونی برای بررسی توزیع هیدروژن در هدف‌های هیدروژنی

In this paper, selection of proper method for titanium coating on copper substrate is studied to construct nuclear targets for neutron production in particle accelerators. In order to construct such targets, it is necessary to deposit, through the coating methods, the proper coating of titanium on copper. Among different coating methods, ion plating and sputtering, due to the high coating yield...

متن کامل

مروری بر روش مدلسازی لایه نشانی همجوش

در بازار رقابتی امروز، کاهش مدت زمان توسعه و ساخت محصول از طراحی تا تولید، رمز موفقیت سازمان‌های تولیدی به‌شمار می‌رود. از این ‌رو، استفاده از روش‌های نمونه‌سازی و تولید سریع با شتاب رو به ‌رشد است. مطالعات متعدد درباره ساخت، بررسی و معرفی متغیرهای اثرگذار بر خواص مکانیکی قطعات تولید شده با روش مدل‌سازی لایه‌نشانی همجوش رشته‌های پلیمری انجام شده که از روش‌های متداول در حوزه نمونه‌سازی سریع است....

متن کامل

بررسی اثر استفاده از رادیکال های گازی سیستم گازی آمونیاک و تری کلروسیلان بر رشد و خصوصیات لایه نازک نیترید سیلیکون آمورف لایه نشانی شده به روش لایه نشانی شیمیایی از فاز بخار در فشار پایین

In this paper, preparation and characterization of a-SiNx thin films deposited by LPCVD method from free radicals of TCS and NH3 gaseous system were investigated. These radicals are made by passing each of the precursor gases separately over Pt-Ir/Al2O3 catalyst at the temperature of 600 ᐤC. Kinetics of this process was investigated at different total pressures, NH3/TCS flow rate ratios and te...

متن کامل

طراحی و ساخت دستگاه تفنگ الکترونی به منظور لایه نشانی

در این پروژه منبع تغذیه شتاب دهنده دستگاه تفنگ الکترونی با مشخصه ی خروجی 6kv، 0.5a و ضربان کمتر از یک درصد و همچنین بخش مکانیکی دستگاه طراحی و ساخته شده است. منبع تغذیه ساخته شده از نوع سوئیچینگ می باشد و نسبت به منابع تغذیه خطی با مشخصات مشابه، بازده بالاتری (حدود نود درصد) دارد. همچنین این منبع تغذیه دارای وزن و حجم بسیار کمتری نسبت به نمونه های مشابه می باشد. منبع تغذیه مذکور دارای قابلیت م...

15 صفحه اول

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی - دانشکده برق

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023